Microscópios eletrônicos de varredura de lançamento de campo de ultra-alta resolução Regulus
Os modelos SU8240, SU8230, SU8220 e SU8010 já existentes foram reintegrados para formar o Regulus 8240, Regulus 8230, Regulus 8220 e Regulus 8100.
A 'Série Regulus' herda o desempenho de observação e análise dos modelos existentes com uma arma eletrônica de lançamento de campo frio de baixo ruído da série SU8200*1É possível obter um fluxo de alta estabilidade.
Através da otimização do sistema óptico eletrônico, o Regulus 8240/8230/8220 aumentou a resolução para 0,7 nm em condições de 1 kV e o Regulus 8100 aumentou a resolução para 0,8 nm.
Além disso, para aproveitar ao máximo a capacidade de ultra-alta resolução, a ampliação foi aumentada de 1 milhão de vezes para 2 milhões de vezes no passado.*1- É.
Os Regulus 8240/8230/8220/8100 também melhoram o suporte ao usuário, o que facilita a compreensão dos princípios de detecção de uma variedade de sinais complexos e ajuda os usuários a obter o melhor desempenho do seu instrumento.
- *1
- Apenas para Regulus 8240/8230/8220
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Características
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Especificações
Características
- Pistola eletrônica de lançamento a frio com a série SU8200*2
- A utilização da área estável de alto brilho do feixe de elétrons que aparece após o Flashing como intervalo de observação estável permite o melhor desempenho para observação e análise de alta resolução em condições de baixa tensão de aceleração
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV) - Armazém de amostras com pouca poluição e alto vácuo
- Filtro de energia (opcional) para observar vários contrastes de componentes*2
Observação de alta resolução em baixa tensão de pouso

Amostra: partículas de ouro
Tensão de pouso: 10 V
Observação de alta resolução

Amostra: catalisador Pt
Tensão de aceleração: 30 kV
Análise EDX de alta resolução em baixa aceleração

Amostra: Bola Sn
Tensão de pouso: 1,5 kV
- *2
- Apenas para Regulus 8240/8230/8220
Especificações
| Projetos | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Resolução eletrônica secundária | 0.7 nm (Tensão de aceleração 15 kV) 0.8 nm (Tensão de pouso 1 kV)*3 |
0,6 nm (tensão acelerada 15 kV) 0,7 nm (tensão de pouso 1 kV)*3 |
|||||
| Tensão de pouso | 0.1~2 kV | 0.01~20 kV | |||||
| Ampliar | 20 a 1.000.000 vezes*4 | 20-2.000.000 vezes*4 | |||||
| Banco de amostras | Controle do banco de amostras | Motor de 3 eixos (motor de 5 eixos opcional) | Motor de 5 eixos | ||||
| Área de movimento | X | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~110 mm | ||
| Y | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~80 mm | |||
| R | 360° | ||||||
| T | -5~70° | ||||||
| Z | 1.5~30 mm | 1.5~40 mm | |||||
| Reprodutividade | - | - | - | ±0,5 µm abaixo de ±0,5 µm | |||
- *3
- Observação em modo de redução
- *4
- Magnificação baseada em um filme de 127 mm x 95 mm
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