Na preparação de água ultrapura, a interpretação do TOC (carbono orgânico total) é essencial, usando a tecnologia UV-185nm de baixa pressão e alta energia, e em combinação com o sterilizador UV-254nm, capaz de gerar radicais livres hidroxilos na água através de alta dose de catálise UV-185nm, a degradação oxidativa da matéria orgânica na água para reduzir o conteúdo de TOC na água