· A superfície da mesa é uma estrutura de suporte celular de três camadas, com aço inoxidável magnético altamente condutor Icr17

· Material de isolamento de vibração com um amortiguador de amortiguação profissional de precisão e uma almofada de isolamento de amortiguação padrão nacional

· Frequência inerente mínima até 3Hz, alto desempenho de amortiguação

· Modelo pode ser personalizado de acordo com as necessidades do cliente (LFontes,TFontes,VFontes, etc.) Plataforma óptica de precisão

· Planificação não superior a 0,05 mm/㎡

Rugosidade da superfície inferior a 0.8um ~ 1.6um

Frequência inerente de 3Hz a 6Hz

Amplitude não superior a 5um

Precisão de posicionamento repetida+0.05mm